ALD工艺及应用

ALD工艺及应用 CVD工艺及应用 前驱体技术指标 前驱体容器技术指标

核心设备:

色谱仪              

               色谱仪                             核磁(400兆)             惰性气氛手套箱



                      

            纯水仪                                                           氦质谱检漏仪





                    




                              

                                       

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