ALD前驱体之三(二乙胺)叔丁酰胺钽

近日，华中科技大学使用我司提供的三(二乙胺)叔丁酰胺钽，通过与臭氧反应沉积氧化钽薄膜，相关成果发表在nature子刊。同时该钽前驱体在北大，清华同期使用，均获得了理想薄膜。