ALD前驱体-环戊二烯基铟

厦门理工学院连水养老师课题组使用我司的环戊二烯铟前驱体，通过氧气加等离子体原子层沉积方法，沉积了氧化铟薄膜，相关成果发表在Vacuum期刊中，祝贺连老师！