ALD前驱体源瓶特点是什么

ALD前驱体源瓶（起泡器）用于固态、液态及气态超纯物料类的封装，涉及微正压、

常压、中低压的危险化学品，所以对源瓶的安全性和洁净度提出严苛的要

求。

ALD前驱体源瓶特点：

所有管件采用316L不锈钢，内部经400目机械抛光和电化学抛光，Ra≦0.25微米；

阀门有美国世伟洛克球阀和隔膜阀、日本富士金隔膜阀和韩国TK隔膜阀供选择；

密封垫片选用纯银镀镍垫片；

氦质谱检测泄漏率≦1.0*10-10mbar L/s；

可盛装化学品纯度≧99.9995;

总残余元素量≦50PPb；

坠落试验，通过国家商检部门检测；

介质，TMG\TEG\TMA\TMIN\DEE等；

可选择气动阀门或者实现在注入端子、输出端子以及接口之间的交叉清扫处理等；

可提供非标定做。