设为首页 收藏本站
新闻中心
新闻中心
 
ALD前驱体-三(二乙胺)叔丁亚胺钽(TBTDET)

   华中科技大学使用我司三(二乙胺)叔丁亚胺钽,与水反应,源加热65 (载气辅助),腔体温度250 ,相关论文发表在ACS Applied Materials & Interfaces 中。


时间:2026-05-12