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ALD前驱体-三(二甲胺)镓二聚体([TDMAGa]₂)
南开大学使用我司三(二甲胺)镓二聚体,与水反应,源加热温度
120
℃
,腔体温度
150
℃
相关论文发表在
nature communications
中。
时间:2026-05-12