ALD前驱体质量的稳定型、可靠性，直接影响薄膜的性能，我司在管控好工作环境的前提下，购置了NMR(用于结构检测)、ICP-MS(用于金属杂质检测)、IC(用于氯离子检测)、GC(用于化学纯度检测)、TGA(用于热分析)等多款前驱体检测核心设备，可实地考察并面对面交流前驱体的品质管控技术。
