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   ALD前驱体大部分都具有一定活性，对空气敏感，安全是沉积工艺的第一要素，需要研究人员熟知前驱体的物化性质，为此我司整理了常用ALD前驱体安全技术说明书，具体详见公司主页“下载中心”。

时间：2026-05-12