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ALD前驱体之三(二乙胺)叔丁酰胺钽
近日,华中科技大学使用我司提供的三(二乙胺)叔丁酰胺钽,通过与臭氧反应沉积氧化钽薄膜,相关成果发表在nature子刊。同时该钽前驱体在北大,清华同期使用,均获得了理想薄膜。
时间:2023-08-06