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ALD前驱体-环戊二烯基铟
厦门理工学院连水养老师课题组使用我司的环戊二烯铟前驱体,通过氧气加等离子体原子层沉积方法,沉积了氧化铟薄膜,相关成果发表在Vacuum期刊中,祝贺连老师!
时间:2022-05-27