叔丁基二茂铁_ALD/CVD前驱体_ALD/CVD源瓶_MLD前驱体_贵金属催化剂_实验室仪器

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叔丁基二茂铁

最近我司研制的叔丁基二茂铁通过在上海大学的认证使用,沉积了高质量氧化铁薄膜,相关成果即将发表.叔丁基二茂铁相对于固态的铁源如二茂铁,叔丁醇铁,由于其性状为液态,蒸汽压较为稳定,也不会像固态源那样堵塞源瓶阀芯,为沉积工作的顺利开展创造了条件.

时间：2021-10-23